【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondaryionmassspectrometry-Methodfordepthcalibrationforsiliconusingmultipledelta-layerreferencematerials.
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱分析法.用多δ层参考物质对硅进行深度校准的方法
【标准号】:NFX21-066-2009
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2009-06-01
【实施或试行日期】:2009-06-20
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析;砝码;校准;校正;化学分析和试验;化学分析和测试;深度测量;质谱学;参考材料;;硅;规范(验收);表面化学;表面处理;表面;试验;测试;痕量元素分析
【英文主题词】:Analysis;Calibration;Chemicalanalysisandtesting;Depthmeasurement;Massspectrometry;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Silicon;Specification(approval);Surfacechemistry;Surfacetreatment;Surfaces;Testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:25P;A4
【正文语种】:其他