基本信息
| 标准名称： | 氧化锌压电薄膜规范 |
| 英文名称： | Specification for ZnO piezoelectric films |
| 中标分类： | |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1998-03-18 |
| 实施日期： | 1998-05-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 归口单位： | 中国电子技术标准化研究所 |
| 起草单位： | 电子工业部第二十六研究所 |
| 起草人： | 陈运祥、毕四英、李治成、贾子福、王玉功 |
| 出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版日期： | 1998-04-01 |
| 页数： | 9页 |
适用范围
本规范规定了氧化锌电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于声体波微波延迟线氧化锌（ZnO）、硅（Si）声表面卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜。
前言
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目录
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引用标准
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